堅持超過50年工匠精神 專業 .高品質. 探針台設備製造
自1968年以來,Lucas-SIGNATONE設計並製造了用於測量半導體片電阻率的四點探測設備,四點探針測量系統已應用於各種材料研究應用,測量各種襯底上的薄膜。
SIGNATONE Pro4四點探針電阻率測量系統為薄片和體電阻率測量提供了簡單的答案,為了進行測量,用戶將四點探針頭降低到樣品上,然後搭配選擇軟體中的測試按鈕,電腦自動控製儀器,並逐步通過一些電流設置,以找到準確讀數的理想電流,進行V/I測量並記錄,該系統採用ASTM標準F84-99的雙配置測試方法,以補償探頭間距誤差和靠近導電層邊緣引起的誤差。
在量測 100 毫米,125 毫米,150 毫米,200 毫米,300 毫米的待測樣品時,可設定自動測量9,25,49或 121 個測試點,
系統使用四點探針,雙架構測試方式,並整合了目前最佳的測量儀錶可達到在 1mΩ/ 至 2MΩ/ 間小於 1% 的誤差
◢ΩPro電阻率測量系統與SIGNATONE硬體(如:探針台,探針,探針座……)搭配結合應用,以實現所需的測量值。
ΩPro電阻率測量系統解決方案應用於---
■ 用共線四點探針測量繪製薄膜的薄層電阻圖
■ 精密共線四點探針薄膜電阻的溫度係數
■ 使用2點Kelvin probes和精密表面溫度探針的電阻精密溫度係數
■ 使用Kelvin probes或探針卡對多個電阻器進行標準TCR測試
■ 精確的電阻測試溫度係數
■ 使用單個探針對Vander Pau微結構或薄膜進行Vander Pau四點測量。
Vander Pau 四點測量/電阻率測量系統
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