QuadProII是專為滿足矽片、薄膜、太陽能電池和各種應用的研究需求而設計的;通常用於幫助確定薄膜沉積過程,沉積在晶圓或襯底上的薄膜和厚薄膜可以被精確地映射;
堅持超過50年工匠精神 專業 .高品質. 探針台設備製造
自1968年以來,Lucas-SIGNATONE設計並製造了用於測量半導體片電阻率的四點探測設備,四點探針測量系統已應用於各種材料研究應用,測量各種襯底上的薄膜。
QuadProII是專為滿足矽片、薄膜、太陽能電池和各種應用的研究需求而設計的;
此外,QuadProII通常用於幫助確定薄膜沉積過程,沉積在晶圓或襯底上的薄膜和厚薄膜可以被精確地映射;
◢QuadProII 電阻率測量系統提供:
■測量電阻、電阻率或厚度
■ 報告平均、標準最小偏差,最大和1Sigma資料集
■ 溫度係數電阻值(TCR)綜合測量,溫控chuck 和source meter
■ 自動2D彩色等高線圖,3D和橫截面映射
■ 採用雙重標準配置測試改進的方法具準確性和可重複性
■ 測試樣品10mm至300mm
■ P/N Typing &Comparative Mapping
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