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QuadProII 自動電阻率測量系統

QuadProII是專為滿足矽片、薄膜、太陽能電池和各種應用的研究需求而設計的;通常用於幫助確定薄膜沉積過程,沉積在晶圓或襯底上的薄膜和厚薄膜可以被精確地映射;

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自1968年以來,Lucas-SIGNATONE設計並製造了用於測量半導體片電阻率的四點探測設備,四點探針測量系統已應用於各種材料研究應用,測量各種襯底上的薄膜。

QuadProII是專為滿足矽片、薄膜、太陽能電池和各種應用的研究需求而設計的;

此外,QuadProII通常用於幫助確定薄膜沉積過程,沉積在晶圓或襯底上的薄膜和厚薄膜可以被精確地映射; 

◢QuadProII 電阻率測量系統提供:

測量電阻、電阻率或厚度

■ 報告平均、標準最小偏差,最大和1Sigma資料集

■ 溫度係數電阻值(TCR)綜合測量,溫控chuck 和source meter

■ 自動2D彩色等高線圖,3D和橫截面映射

■ 採用雙重標準配置測試改進的方法具準確性和可重複性

■ 測試樣品10mm至300mm

■ P/N Typing &Comparative Mapping


            

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