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納米級晶圓探針台
半導體、薄膜、LED、MEMS、NEMS和光子學測試；
直流、高頻和CV電氣測試；
精密工藝四點探針電阻率測量 & 納米級的探針 ~~
精密X/Y/Z小間距的移動和定位,精美小型探針台
使檢測變得簡單、更加的快速、更高的解析度和節省成本
半導體、薄膜、LED、MEMS、NEMS和光子學測試
精密工藝四點探針電阻率測量 & 納米級的探針 ~~
檢測變得簡單、更加的快速、更高的解析度和節省成本
◆ 規格&特點：
● 直流、高頻和CV電氣測試 ● X-Y-Z 移動 0.2nm Close Loop、1 nm Open Loop
● 納米級定位自動繪圖、圖像顯示 ● 手動、半自動或自動探測
● 高度精密閉環壓電流和電壓掃描 ● 薄膜電阻和電阻率
● 保存並匯出數據 ● 依據用戶的規格和配置而設計
● 100毫米、150毫米、200毫米和300毫米晶圓
● SAKYIWA model XS20尺寸：18 cm (L) x 45 cm (W) x 65 cm (H)
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