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Pro4四點探針電阻率測量系統
Pro4手動四點探針電阻率測量系統
SIGNATONE自1968年以來, 就已經開始提供四點探針電阻率測量系統, 其中的Pro4系列手動四點探針台，提供了簡易且方便測量----
片電阻率( Sheet Resistivity)與體電阻率(Bulk Resistivity)的有效方法;
軟體系統會自動控製Keithley 2450/2600系列，並逐步執行多個電流設定以找到準確讀數的理想電流，進行V/I測量並記錄。
自1968年以來，SIGNATONE 設計並製造了用於測量半導體片電阻率的四點探測設備, 四點探針測量系統已應用於各種材料研究應用， 測量各種襯底上的薄膜。
SIGNATONE Pro4 四點探針電阻率測量系統為薄膜和體電阻率測量提供了簡單的答案, 為了進行測量, 用戶將四點探針頭降低到樣品上, 然後搭配選擇軟體中的測試按鈕, 電腦自動控製儀器, 並逐步通過一些電流設置, 以找到準確讀數的理想電流, 進行V/I測量並記錄, 該系統採用ASTM標準F84-99的雙配置測試方法, 以補償探頭間距誤差和靠近導電層邊緣引起的誤差。
◆ 準確的電阻率測量, Pro4支架包含多種功能----
- 具有微動開關的槓桿臂, 探針頭直接上下移動，未接觸到樣品是不會施加電流
- 設定樣本的測試, 頂部的精細 “Z” 調整旋鈕可將探針頭升高或降低 20 毫米
- 快速安裝可以更換探針頭
- 待測樣本安裝在Delrin chuck上, 並可輕鬆推入
- 支架有 100 毫米和 150 毫米兩種配置
- 此支架已預先接線並準備好連接至 Keithley 2450 Source儀表
◆ Pro4 Software
- Pro4 軟體管理測試、顯示結果並允許列印輸出或匯出資料
- 使用者隻需輸入待測樣品的大小、形狀、待測樣品邊緣不包括部分的大小與量測點數
- 使用者可設定要顯示的參數（如電阻、片電阻或電壓電流），也可以定義良品/不良品Pass/Fail）的條件
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