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CM210-8寸晶圆,DC, CV/IV高功率探测探针台
CM210-8寸晶圆探针台,高精准度手动探测系统,
专为各种晶圆上分析测量应用而设计;
用于可靠, 精确的直流、恒压/恒压、高功率和射频测试测量
■ 快速精细的 DUT X-Y 旋钮控制
■ 选购针孔真空区
■ 连续升降台 (CVL), 方便探针和 DUT 的更换
■ 超稳定线性显微镜载物台
■ 具有锁定功能的精细升降台，用于 DUT/探针的设置
■ 高功率应用，最高可达 12KV / 600A
CM-210 8英寸晶圆 高精度手动探针台
SignatoneCM-210 200mm High Precision Manual Probe System
For Reliable and Accurate DC, CV/IV, High Power and RF Test Measurements
◆ 标准配置
■ 50 mm 超厚铝合金底座，提供极高稳定性
■ DUT 的 X-Y 平台具备快速与精密双模式旋钮控制
■ 三点式吸盘平面校正机构，确保载台水平
■ 吸盘 θ 旋转由精密螺旋测微器驱动
■ 可切换的针孔真空区域，适应不同尺寸晶圆
■ 连续升降平台 (CVL) 便于更换探针与 DUT
■ 精密升降平台附锁定装置，利于 DUT/探针微调
■ 大型平台（可选钢制或铝制*）
■ 超稳定线性显微镜载台
◆ 专为各种晶圆上分析测量应用而设计
■ 直流, CV/IV, 脉冲-IV应用
■ 高功率应用, 最高可达12KV/600A
■ IC设计/测试验证, 环境温度至+300°C
■ 射频应用, 频率高达110GHz，提供2端口及4端口配置
◆ 产品多功能性
■ 专为晶圆全尺寸或局部侦测设计
■ 超稳定固体底座，适用于亚微米级探测
■ 可选探针, 卡盘和显微镜配置
■ 可升级为电动式 - 操纵杆或半自动/步进重复控制
■ 防震桌工作台(选购）
■ 300°C 高温卡盘系统（选购）
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