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Lite Prober XLP-10 自动定位器
◆LiteProber XLP-10 是一款紧凑型半自动定位器；
包括：
● 一个探头内置探针卡
● 一个高精度闭环压电Z级平台
● 两个手动XY载物台
Probe Head Piezo Z Movement：
Z Travel Range ：±6 mm
Encoder Resolution：10 nm
Repeatability (Bi-Directional)：±50 nm
Repeatability (Uni-Directional) ：±50 nm
Load (Fz) ：20 N
Lite Prober XLP-10 自动探测系统
Xallent Lite Prober 系列的强大功能：对器件和薄膜材料进行微米级和纳米级探测
半导体、薄膜、LED、MEMS、NEMS 和光子学测试—
更多测试、速度更快、分辨率更高、良好的经济效益、比传统定位器占地面积更小
◆ LiteProber XLP-10 是一款紧凑型半自动定位器；
包括：
● 一个探头内置探针卡
● 一个高精度闭环压电Z级平台
● 两个手动XY载物台
Probe Head Piezo Z Movement：
Z Travel Range ：±6 mm
Encoder Resolution：10 nm
Repeatability (Bi-Directional)：±50 nm
Repeatability (Uni-Directional) ：±50 nm
Load (Fz) ：20 N
◆ Lite-Prober 利用 Xallent 细间距探头组合来支持以下测试，来提高测量吞吐量和可重复性。
● DC、RF 和 CV 测试
● I/V 和方块电阻测量
● Nanoindentation和机械测试
Xallent 专为各项技术领域应用设计开发提供—【纳米级 探针/探卡】探测解决方案
Xallent 探针头可以适用各大厂牌；连接到许多传统晶圆探针的探针座上
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