Pro-4 四點探針電阻率測量系統

                                          堅持超過50年工匠精神 專業 .高品質. 探針台設備製造

自1968年以來，Lucas-SIGNATONE設計並製造了用於測量半導體片電阻率的四點探測設備，四點探針測量系統已應用於各種材料研究應用，測量各種襯底上的薄膜。

SIGNATONE Pro4四點探針電阻率測量系統為薄片和體電阻率測量提供了簡單的答案，為了進行測量，用戶將四點探針頭降低到樣品上，然後搭配選擇軟體中的測試按鈕，電腦自動控制儀器，並逐步通過一些電流設置，以找到準確讀數的理想電流，進行V/I測量並記錄，該系統採用ASTM標準F84-99的雙配置測試方法，以補償探頭間距誤差和靠近導電層邊緣引起的誤差。

在量測 100 毫米，125 毫米，150 毫米，200 毫米，300 毫米的待測樣品時,可設定自動測量9，25，49或 121 個測試點，

系統使用四點探針，雙架構測試方式,並整合了目前最佳的測量儀錶可達到在 1mΩ/ 至 2MΩ/ 間小於 1% 的誤差

◢ΩPro電阻率測量系統與SIGNATONE硬體(如：探針台，探針，探針座……)搭配結合應用，以實現所需的測量值。

  ΩPro電阻率測量系統解決方案應用於---

■ 用共線四點探針測量繪製薄膜的薄層電阻圖

■ 精密共線四點探針薄膜電阻的溫度係數

■ 使用2點Kelvin probes和精密表面溫度探針的電阻精密溫度係數

■ 使用Kelvin probes或探針卡對多個電阻器進行標準TCR測試

■ 精確的電阻測試溫度係數

■ 使用單個探針對Vander Pau微結構或薄膜進行Vander Pau四點測量。

                                                                                                  Vander Pau 四点测量/电阻率测量系统

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