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CM210-8寸晶圓,DC, CV/IV高功率探測探針台
CM210-8寸晶圓探針台,高精準度手動探測系統,
專為各種晶圓上分析測量應用而設計;
用於可靠, 精確的直流、恆壓/恆壓、高功率和射頻測試測量
■ 快速精細的 DUT X-Y 旋鈕控製
■ 選購針孔真空區
■ 連續升降台 (CVL), 方便探針和 DUT 的更換
■ 超穩定線性顯微鏡載物台
■ 具有鎖定功能的精細升降台，用於 DUT/探針的設置
■ 高功率應用，最高可達 12KV / 600A
CM-210 8英寸晶圓 高精度手動探針台
SignatoneCM-210 200mm High Precision Manual Probe System
For Reliable and Accurate DC, CV/IV, High Power and RF Test Measurements
◆ 標準配置
■ 50 mm 超厚鋁合金底座，提供極高穩定性
■ DUT 的 X-Y 平台具備快速與精密雙模式旋鈕控製
■ 三點式吸盤平面校正機構，確保載台水平
■ 吸盤 θ 旋轉由精密螺旋測微器驅動
■ 可切換的針孔真空區域，適應不同尺寸晶圓
■ 連續升降平台 (CVL) 便於更換探針與 DUT
■ 精密升降平台附鎖定裝置，利於 DUT/探針微調
■ 大型平台（可選鋼製或鋁製*）
■ 超穩定線性顯微鏡載台
◆ 專為各種晶圓上分析測量應用而設計
■ 直流, CV/IV, 脈衝-IV應用
■ 高功率應用, 最高可達12KV/600A
■ IC設計/測試驗證, 環境溫度至+300°C
■ 射頻應用, 頻率高達110GHz，提供2埠及4埠配置
◆ 產品多功能性
■ 專為晶圓全尺寸或局部偵測設計
■ 超穩定固體底座，適用於亞微米級探測
■ 可選探針, 卡盤和顯微鏡配置
■ 可升級為電動式 - 操縱桿或半自動/步進重複控製
■ 防震桌工作台(選購）
■ 300°C 高溫卡盤系統（選購）
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