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SAKYIWA NanoProbe 奈米探測
SAKYIWA NanoProber系列
手動I/V, Kelvin電阻, 薄層電阻和電晶體測量系統
半導體, 薄膜, LED, MEMS, NEMS 和光子學測試；
測試次數更多, 速度更快, 解析度更高, 成本更低, 佔地面積也比傳統設備小得多。
薄層電阻測量測試工具
採用Xallent精細間距的四探針(10微米間距), 可直接測量薄膜材料的薄層電阻和電阻率。
SAKYIWA NanoProber系列
手動I/V, Kelvin電阻, 薄層電阻和電晶體測量系統
半導體, 薄膜, LED, MEMS, NEMS 和光子學測試；
測試次數更多, 速度更快, 解析度更高, 成本更低, 佔地面積也比傳統設備小得多
SAKYIWA NanoProber ---薄層電阻測量測試工具
採用Xallent精細間距的四探針(10微米間距), 可直接測量薄膜材料的薄層電阻和電阻率。
■ 配備電腦控製的精密壓電 Z 軸平台和兩個手動 XY 軸平台
■ 將探針尖端移動到相機視野內並與薄膜材料或晶圓接觸
■ 直接觀察探針尖端和被測材料 (MUT)
■ 高速提取薄膜和裝置在微米和奈米尺度上的薄層電阻
■ 四線Kelvin電阻
■ 場效電晶體特性
根據客戶樣品厚度, 從Xallent四探針卡產品組合中選擇合適的探針卡, 以滿足測試需求；
NanoProber 的模組化架構支援未來升級, 以支援CV, RF, 掃描探針和光學檢測等模式
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