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XLP-300自動定位器(探針座）
LiteProber Series: Model XLP-300
模組化電流 / 電壓, Kelvin 電阻, 方塊電阻與晶體管量測模組
■ 模組化探針套件，隨插即用,可搭配現有第三方晶圓探針台
■ Xallent 自有 HITS 測試系統都能相容安裝
■ 能實現微米/奈米級多點同步探測,靠 專利探頭跟細間距探針,
直接優化現有製程流程
■ 實現更快測試速度, 更低使用成本
LiteProber Series: Model XLP-300
模組化電流 / 電壓, Kelvin 電阻, 方塊電阻與晶體管量測模組
LiteProber 是 Xallent 推出的模組化探針套件, 隨插即用；
▪ 可搭配現有第三方晶圓探針台, 或是 Xallent 自有 HITS 測試系統都能相容安裝
▪ 實現微米/奈米級多點同步探測, 靠專利探頭跟細間距探針,直接優化現有製程流程,
實現更快測試速度, 更低使用成本
Applications 應用
LiteProber 專為高精度表徵而設計，適用於傳統探針達到物理極限的情況：
• 薄膜分析：擅長二維材料和薄膜沉積的電特性分析
• 直接測量：無需耗時的光刻圖案化或金屬沉積即可測量薄層電阻和電阻率
• 先進封裝：為探測微凸點, 柱狀結構和矽通孔 (TSV) 提供高速解決方案, 適用於異構整合 (HI) 的超細間距。
• 產業研發：是失效分析, 良品晶圓驗證(KGD), 還有 AI, 高頻寬記憶體, 5G 技術研發製程監控 必備工具
Xallent 專為各項技術領域應用設計開發提供—【納米級 探針/探卡】探測解決方案
Xallent 探針頭可以適用各大廠牌；連接到許多傳統晶圓探針的探針座上
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