微米薄膜電阻量測系統
使用 SAKYIWA 奈米探針台, 搭配 10 微米間距四點探針; 並採用雙模式
(Dual-configuration)的架構來精準量測薄層電阻

使用 SAKYIWA 奈米探針台, 搭配 10 微米間距四點探針;
並採用雙模式 (Dual-configuration)的架構來精準量測薄層電阻


這套系統的應用非常廣泛,它能針樣品進行高效率的局部薄膜電阻特性分析與分布圖繪製。對於樣品支援已圖案化的晶圓,未圖案化的基底與研發階段常見的碎片。
根據客戶樣品厚度, 從Xallent四探針卡產品組合中選擇合適的探針卡, 以滿足測試需求;
NanoProber 的模組化架構支援未來升級, 以支援CV, RF, 掃描探針和光學檢測等模式
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