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ΩPro诊断性多测试电阻率测量系统

Pro-4四点探针电阻率测量系统 为薄片和体电阻率测量提供了简单的答案,
材料薄膜、电阻率测量,Sic,GaN ,第三代半导体材料分析

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                                 坚持超过50年工匠精神 专业 .高质量. 探针台设备制造



自1968年以来,Lucas-SIGNATONE设计并制造了用于测量半导体片电阻率的四点探测设备,四点探针测量系统已应用于各种材料研究应用,测量各种衬底上的薄膜。

SIGNATONE Pro4四点探针电阻率测量系统为薄片和体电阻率测量提供了简单的答案,为了进行测量,用户将四点探针头降低到样品上,然后搭配选择软件中的测试按钮,计算机自动控制仪器,并逐步通过一些电流设置,以找到准确读数的理想电流,进行V/I测量并记录,该系统采用ASTM标准F84-99的双配置测试方法,以补偿探头间距误差和靠近导电层边缘引起的误差。

在量测 100 毫米,125 毫米,150 毫米,200 毫米,300 毫米的待测样品时,可设定自动测量9,25,49或 121 个测试点,

系统使用四点探针,双架构测试方式,并整合了目前最佳的测量仪表可达到在 1mΩ/ 至 2MΩ/ 间小于 1% 的误差

◢ΩPro电阻率测量系统与SIGNATONE硬件(如:探针台,探针,探针座……)搭配结合应用,以实现所需的测量值。

  ΩPro电阻率测量系统解决方案应用于---

■ 用共线四点探针测量绘制薄膜的薄层电阻图

■ 精密共线四点探针薄膜电阻的温度系数

■ 使用2点Kelvin probes和精密表面温度探针的电阻精密温度系数

■ 使用Kelvin probes或探针卡对多个电阻器进行标准TCR测试

■ 精确的电阻测试温度系数

 使用单个探针对Vander Pau微结构或薄膜进行 Vander Pau 四点测量



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欢迎来函/来电咨询

info@se-group.com /+86-21-3214-0732

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