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QuadProII 自动电阻率测量系统

QuadProII是专为满足硅片、薄膜、太阳能电池和各种应用的研究需求而设计的;通常用于帮助确定薄膜沉积过程,沉积在晶圆或衬底上的薄膜和厚薄膜可以被精确地映射;

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自1968年以来,Lucas-SIGNATONE设计并制造了用于测量半导体片电阻率的四点探测设备,四点探针测量系统已应用于各种材料研究应用,测量各种衬底上的薄膜。

QuadProII是专为满足硅片、薄膜、太阳能电池和各种应用的研究需求而设计的;

此外,QuadProII通常用于帮助确定薄膜沉积过程,沉积在晶圆或衬底上的薄膜和厚薄膜可以被精确地映射; 

◢QuadProII 电阻率测量系统提供:

测量电阻、电阻率或厚度

■ 报告平均、标准最小偏差,最大和1Sigma数据集

■ 温度系数电阻值(TCR)综合测量,温控chuck 和source meter

■ 自动2D彩色等高线图,3D和横截面映射

■ 采用双重标准配置测试改进的方法具准确性和可重复性

■ 测试样品10mm至300mm

■ P/N Typing &Comparative Mapping



            

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