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SAKYIWA NanoProbe 纳米探测
SAKYIWA NanoProber系列
手动I/V, Kelvin电阻, 薄层电阻和晶体管测量系统
半导体, 薄膜, LED, MEMS, NEMS 和光子学测试；
测试次数更多, 速度更快, 分辨率更高, 成本更低, 占地面积也比传统设备小得多。
薄层电阻测量测试工具
采用Xallent精细间距的四探针(10微米间距), 可直接测量薄膜材料的薄层电阻和电阻率。
SAKYIWA NanoProber系列
手动I/V, Kelvin电阻, 薄层电阻和晶体管测量系统
半导体, 薄膜, LED, MEMS, NEMS 和光子学测试；
测试次数更多, 速度更快, 分辨率更高, 成本更低, 占地面积也比传统设备小得多
SAKYIWA NanoProber ---薄层电阻测量测试工具
采用Xallent精细间距的四探针(10微米间距), 可直接测量薄膜材料的薄层电阻和电阻率。
■ 配备计算机控制的精密压电 Z 轴平台和两个手动 XY 轴平台
■ 将探针尖端移动到相机视野内并与薄膜材料或晶圆接触
■ 直接观察探针尖端和被测材料 (MUT)
■ 高速提取薄膜和装置在微米和奈米尺度上的薄层电阻
■ 四线Kelvin电阻
■ 场效晶体管特性
根据客户样品厚度, 从Xallent 四探针卡产品组合中选择合适的探针卡, 以满足测试需求；
NanoProber 的模块化架构支持未来升级, 以支持CV, RF, 扫描探针和光学检测等模式
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