Lite Prober Series: Model XLP-300
模块化电流 / 电压, Kelvin 电阻, 方块电阻与晶体管量测模块
■ 模块化探针套件,即插即用,可搭配现有第三方晶圆探针台
■ Xallent 自有 HITS 测试系统都能兼容安装
■ 能实现微米/纳米级多点同步探测,靠 专利探头跟细间距探针,
直接优化现有制程流程
■ 实现更快测试速度, 更低使用成本
模块化电流 / 电压, Kelvin 电阻, 方块电阻与晶体管量测模块
LiteProber 是 Xallent 推出的模块化探针套件, 即插即用;
▪ 可搭配现有第三方晶圆探针台, 或是 Xallent 自有 HITS 测试系统都能兼容安装
▪ 实现微米/纳米级多点同步探测, 靠专利探头跟细间距探针,直接优化现有制程流程,
实现更快测试速度, 更低使用成本
Applications 应用
LiteProber 专为高精度表征而设计,适用于传统探针达到物理极限的情况:
• 薄膜分析:擅长二维材料和薄膜沉积的电特性分析
• 直接测量:无需耗时的光刻图案化或金属沉积即可测量薄层电阻和电阻率
• 先进封装:为探测微凸点, 柱状结构和硅通孔 (TSV) 提供高速解决方案, 适用于异构整合 (HI) 的超细间距。
• 产业研发:是失效分析, 良品晶圆验证(KGD), 还有 AI, 高带宽内存, 5G 技术研发制程监控 必备工具
Xallent 专为各项技术领域应用设计开发提供—【纳米级 探针/探卡】探测解决方案
Xallent 探针头可以适用各大厂牌;连接到许多传统晶圆探针的探针座上
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