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微米薄膜电阻量测系统
微米薄膜电阻量测系统
使用 SAKYIWA 纳米探针台, 搭配 10 微米间距四点探针; 并采用双模式
(Dual-configuration)的架构来精准量测薄层电阻
Micro-Sheet Resistance Measurements
微米薄膜电阻量测系统
使用 SAKYIWA 纳米探针台, 搭配 10 微米间距四点探针;
并采用双模式 (Dual-configuration)的架构来精准量测薄层电阻
这套系统的应用非常广泛，它能针样品进行高效率的局部薄膜电阻特性分析与分布图绘制。对于样品支持已图案化的晶圆，未图案化的基底与研发阶段常见的碎片。
根据客户样品厚度, 从Xallent四探针卡产品组合中选择合适的探针卡, 以满足测试需求；
NanoProber 的模块化架构支持未来升级, 以支持CV, RF, 扫描探针和光学检测等模式
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