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纳米级晶圆探针台
半导体、薄膜、LED、MEMS、NEMS和光子学测试
精密工艺四点探针电阻率测量 & 纳米级的探针 、直流、高频和CV电气测试
精密X/Y/Z小間距的移动和定位，精美小型探针台
使检测变得简单、更加的快速、更高的分辨率和节省成本
半导体、薄膜、LED、MEMS、NEMS和光子学测试
精密工艺四点探针电阻率测量 & 纳米级的探针 ~~
使检测变得简单、更加的快速、更高的分辨率和节省成本
◆ 规格&特点：
● 直流、高频和CV电气测试 ● X-Y-Z 移动 0.2nm Close Loop、1 nm Open Loop
● 纳米级定位自动绘图、图像显示 ● 手动、半自动或自动探测
● 高度精密死循环压电流和电压扫描 ● 薄膜电阻和电阻率
● 保存并导出数据 ● 依据用户的规格和配置而设计
● 100毫米、150毫米、200毫米和300毫米晶圆
● SAKYIWA model XS20尺寸：18 cm (L) x 45 cm (W) x 65 cm (H)
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